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重庆通过式喷淋清洗机批旋转喷淋清洗机
来源: | 作者:mjcsbcn | 发布时间: 2018-09-18 | 387 次浏览 | 分享到:
批旋转喷淋清洗机
重庆通过式喷淋清洗机批旋转喷淋清洗机(batch spray tool)的典型代表是FSI公司的ZETA系列.清洗室如同一个有顶盖密封的睁止锅.中间和室壁装配有固定静止的液体喷往.喷柱上从上到下有很多喷嘴.
批旋转喷淋清洗机
    重庆通过式喷淋清洗机批旋转喷淋清洗机(batch spray tool)的典型代表是FSI公司的ZETA系列.清洗室如同一个有顶盖密封的睁止锅.中间和室壁装配有固定静止的液体喷往.喷柱上从上到下有很多喷嘴.两个专用的PFA晶片盒哭于PFA转盘上.井对称于中间喷柱,转盘转动最大可达500r/min.药液、纯水和氮气都可从喷柱喷出.药液配置在混合器里进行,比例由制程程序设定和精密流速控制器控制,红外线加热器可对药液在喷出前加热,溶液沮度可由安装在室壁上的热感侧定,便于制怪优化。当制程开始,混合器配好的药液由喷往喷向旋转晶片.在晶片上弥岌、流动,并被甩出.进人排出管.随后是纯水清洗和热的盆气干操。使用的药液始终是新鲜的,没有循环使用带来金属污染和倾校回枯的可能。
    批旋转喷淋清洗机的特点是:①化学品喷出后.不需要循环回收.直接排出.晶片上始终接触的是新鲜的药品.可消除浸泡式清洗常见的循环污染或药品功效降低的影响。②品片处理、冲洗和干燥可在一个处理室一次完成,避免浸泡式清洗晶片在药摘、水摘和于操摘之间转换的麻烦。③制程环境小,可精细控制。该机在CMOS金属硅化物形成清洗中,有独到的应用。http://www.jke-c.com/
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